洁净室空气净化工程的送风系统中新风和回风在空调机房的空调机组(AHU)内进行混合，然后再经过一系列的过滤和热湿处理后经送风管送到洁净厂房的顶上，再经过设在顶上的高效过滤器过滤后送入洁净厂房。回风经设在洁净厂房下部或顶部的回风管拉回到空调机房内的空调机组。回风在空调机组内再与新风重新混合，以此往复循环处理。此为洁净室的送风回风系统工作流程，是洁净室行业通用的做法。

从运行经济节能角度考虑，这种一次回风的送风系统多用在洁净度级别比较低，送风换气次数较小，总送风量较小，室内发热量较大，送风温差较大的电子工业洁净厂房，即消除余热、余湿的空调送风量与净化送风量相近或相同，不需要再热或再热量较小的系统，是比较合理的也是可行的。如果送风量较大，室内产热量又较小，送风温差比较小时，所需的再热量就很大，运行的经济性很差。

这种洁净送回风形式多用在净化级别较低ISO8级、ISO9级，室内发热量较高的工业洁净室的送风系统中，即空调送风量与净化送风量相同或相近的送风系统中。