提要：污染物可能对工艺过程和器件产生下列影响：

1．器件工艺良品率

在一个污染环境中制成的器件会引起多种问题。污染会改变器件的尺寸，改变表面的洁净度，并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生产的过程中，有一系列的质量检验和检测，他们是为检测出被污染的晶片而特殊设计的。高度的污染使得仅有少量的晶片能够完成全工艺过程，从而导致成本升高。 

2．器件性能

一个更为严重的问题是在工艺过程中漏检的小的污染。晶片看起来是干净的，但其中的未能检测出来的颗粒、不需要的化学物质和高浓度的可移动离子污染物，可能会改变器件的电性能。这个问题通常是在芯片切割时的电测试中显现出来。

3．器件可靠性 
    最令人担心的莫过于污染对器件可靠性的失效影响。小剂量的污染物可能会在工艺过程中进入晶片，而未被通常的器件测试检验出来。然而，这些污染物会在器件内部移动，最终停留在电性敏感区域，从而引起器件失效。这一失效模式逐渐成为高科技行业关注的目标。