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        大家注意了,洁净室污染要重视

        作者:陈财来源:洁净室+ 日期:2016年3月10日 10:27

        提要:污染物可能对工艺过程和器件产生下列影响:

         

        1.器件工艺良品率

        在一个污染环境中制成的器件会引起多种问题。污染会改变器件的尺寸,改变表面的洁净度,并且/或者造成有凹痕的表面。在晶片生产的过程中,有一系列的质量检验和检测,他们是为检测出被污染的晶片而特殊设计的。高度的污染使得仅有少量的晶片能够完成全工艺过程,从而导致成本升高。 

        2
        .器件性能

        一个更为严重的问题是在工艺过程中漏检的小的污染。晶片看起来是干净的,但其中的未能检测出来的颗粒、不需要的化学物质和高浓度的可移动离子污染物,可能会改变器件的电性能。这个问题通常是在芯片切割时的电测试中显现出来。


        3.器件可靠性 
           
        最令人担心的莫过于污染对器件可靠性的失效影响。小剂量的污染物可能会在工艺过程中进入晶片,而未被通常的器件测试检验出来。然而,这些污染物会在器件内部移动,最终停留在电性敏感区域,从而引起器件失效。这一失效模式逐渐成为高科技行业关注的目标。

         

        所属类别: 行业动态

        该资讯的关键词为:洁净室污染 

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